イオン注入装置の分類
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2019/09/26 04:03 UTC 版)
1台の装置で全てのイオン注入条件をカバーできるわけではなく、希望する加速エネルギー・ドーズ量の範囲によって数種類の装置を使い分けなければならないのが現状である。
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