くもりとは? わかりやすく解説

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くもり

くもり

外観検査による光沢失った状態をいう。例えば、シリコンウエハ最終仕上げ工程のあと、暗室集光ランプ用いて目視によって「ヘイズ検査が行われる。この場合極微細な凹凸付着物などによる光の散乱原因している。


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