電子プローブマイクロアナライザ

走査電子顕微鏡基本用語集

電子プローブマイクロアナライザ（電子線マイクロアナライザ）　EPMA: electron probe microanalyzer

電子を照射したとき試料から放出される特性X線の波長を分光して、照射領域に存在する元素の同定および濃度の分析を行う装置。分析領域は横方向、深さ方向とも数百nm〜数µmである。分析機能を重視することから、数基のWDSと、分光条件に合わせるための光学顕微鏡を備えている。電子プローブの走査機能を持っているのでSEM像の取得のほか元素マッピングなどを行うことができるが、SEMと違って試料ステージには傾斜機構、回転機構が無いのが普通である。なお、EDSを取り付けたSEMをEPMAと呼ぶ場合がある。

関連する用語

• WDS
• 特性X線
• 分析領域
• 電子プローブ
• 元素マッピング
• 試料ステージ

透過電子顕微鏡基本用語集

電子プローブマイクロアナライザ（イーピーエムエー）

略語：EPMA
【英】：electron-probe microanalyzer

走査電子顕微鏡に特性X線の分光分析用のWDS(EDSも付加できる)機能を付加した装置。バルク試料の表面の非破壊で 定性および定量分析に用いられる。WDSを用いているので、スペクトルの分解能、検出器の不感時間においてEDSよりも優れている。

関連する用語

• 波長分散型X線分光
• WDS
• エネルギー分散型X線分光
• EDS