研磨用語集

スエードタイプ

すえーどたいぷ

スエードタイプのポリシングパッドは、外見上、裏皮あるいは皮の表皮を取り除いた状態を呈している。このパッドは、ポリエステルフェルトにポリウレタンを含浸させた基材にポリウレタンをコートし、そのポリウレタン内に発泡層を成長させた後、表面部分を除去して発泡層を開口させたものであり、シリコンウエハの仕上げ研磨用によく使われる。