トリクロロシランとは？ わかりやすく解説

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トリクロロシラン

分子式：Cl3HSi
その他の名称：シリコクロロホルム、Silicochloroform、Trichlorosilane、三塩化シラン、Silane trichloride
体系名：トリクロロシラン

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