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マイクロ‐マシニング【micro machining】

読み方：まいくろましにんぐ

半導体集積回路の製造に用いられる微細加工技術を応用し、数十マイクロメートル程度の微小機械をつくる技術。→ナノマシニング →マイクロマシン →MEMS(メムス)

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