クリフ・ロリマー補正とは？わかりやすく解説

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クリフ・ロリマー補正　Cliff-Lorimer correction

STEMによる薄膜試料のEDS 分析で使われる定量補正法。バルク試料で必要な ZAF補正が薄膜試料では無視できるとしている。標準試料を使わない代わりに、加速電圧やX線の検出効率に依存する k因子（k-factor）と呼ばれるパラメータを、予め測定しておく必要がある。薄膜近似が成り立つ場合にのみ使用できる方法であるから、低加速電圧 STEMでの適用には、試料が十分薄い領域を選ぶなどの注意が必要である。

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