出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/10/07 04:00 UTC 版)
ジクロロシランは、マイクロエレクトロニクスに見られる半導体シリコン層の出発材料として使用される。低温で分解し、シリコン結晶の成長速度が速いために使用される。
※この「使用の利点」の解説は、「ジクロロシラン」の解説の一部です。
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