ていおんぽりしりこんとは? わかりやすく解説

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ていおん‐ポリシリコン〔テイヲン‐〕【低温ポリシリコン】

読み方:ていおんぽりしりこん

セ氏600度以下で形成できる多結晶シリコン薄膜トランジスターTFT)の基板製造する際、石英ガラス基板を必要とする高温ポリシリコン比べ安価なガラス基板用いることができ、大型化が容易という利点がある。LTPSlow temperature polysilicon)。




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