しんくうぶひん

デジタル大辞泉

しんくう‐ぶひん【真空部品】

読み方：しんくうぶひん

各種真空装置を構成する部品の総称。真空に面して使用されるため、放出ガスが少ない材料で表面処理を施し、洗浄による付着物の除去などが必要となる。半導体製造装置などで利用される。