Penning gauge

大車林

ペニング真空計

英語 Penning gauge

真空中での放電現象を利用し、中～高真空領域での圧力を測定する真空計。最初に開発したメーカーの名前をとり、フィリップス(Philips)真空計と呼ぶこともある。ぺニング真空計は、ぺニング放電という現象を利用している。一般に冷陰極から放出される電子は熱陰極に比べて少なく、単に陽極－陰極間に電圧を印加するだけでは、0.1～1Pa程度までしか放電を持続することができないが、ペニング放電では外部から磁場を印加し、電子の飛距離を長くすることによって低い圧力0.1MPaでも放電を持続させることができる。それほどの精度は必要としないが、測定子を頻繁に交換したくないような高真空領域の測定に適しており、熱処理用の真空炉や真空蒸着装置などに使われる。

※「大車林」の内容は、発行日である2004年時点の情報となっております。

走査電子顕微鏡基本用語集

ペニング真空計（ペニングゲージ）　Penning gauge

真空中での放電現象を利用した電離真空計。永久磁石による強磁界中での放電現象（ペニング放電）を利用しているため、ある程度の高真空でも使うことが可能である。測定可能圧力範囲は10^-3〜1Paである。

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