フッ化タングステン(VI)
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/08/29 02:17 UTC 版)
六フッ化タングステンもしくはフッ化タングステン(VI)はWF6の組成式で表されるフッ素とタングステンからなる無機化合物である。腐食性を有する気体または液体である。25°C100kPaにおいて気体である既知の物質の中で最も重い物質の一つであり[1]、その密度はおよそ13 g/Lと空気の約11倍重い[2][3][4]。WF6は集積回路やプリント基板の製造において低抵抗の金属配線層を形成するのに利用される。これは化学気相蒸着法を用いて基板上でWF6を分解させることによって金属タングステンを堆積させるものである[5]。
- ^ a b c d e f g h i Lassner, E.; Schubert, W.-D. (1999). Tungsten - Properties, Chemistry, Technology of the Element, Alloys, and Chemical Compounds. Springer. pp. 111, 168. ISBN 0-306-45053-4
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- ^ “Tungsten hexafluoride MSDS (pdf)”. Linde Gas. 2013年12月21日閲覧。
- ^ Haaland, A.; Hammel, A.; Rypdal, K.; Volden, H. V. (1990). “The coordination geometry of gaseous hexamethyltungsten is not octahedral”. Journal of the American Chemical Society 112 (11): 4547–4549. doi:10.1021/ja00167a065.
- ^ Weinhold, F.; Landis, C. R. (2005). Valency and bonding: a natural bond orbital donor-acceptor perspective. Cambridge University Press. p. 427. ISBN 0-521-83128-8
[続きの解説]
「フッ化タングステン(VI)」の続きの解説一覧
- 1 フッ化タングステン(VI)とは
- 2 フッ化タングステン(VI)の概要
- 3 反応
- 4 半導体産業における用途
- 5 その他の用途
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