縦形分光器とは？わかりやすく解説

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走査電子顕微鏡基本用語集

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縦形分光器　vertical spectrometer

WDSの一種で、ローランド円と電子プローブが同一平面内にあるように配置された分光器。試料の高さがずれると分光条件が外れることから、高さ合わせ用の光学顕微鏡が必須である。複数の分光器を、お互いの干渉が無い状態で電子光学系の周囲に配置できるので、主として EPMAの分光器として使われる。

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