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走査電子顕微鏡基本用語集

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電子源　electron source

光学顕微鏡の光源に相当する電子の放出源。電子は電子銃の陰極から放出されるが、近傍にあるウェーネルト円筒、引出電極などの影響を受けて、軌道が変わるので、あたかも別な位置にある電子源から放出されるように見える。すなわち、電子光学的な電子源は、熱電子銃の場合はクロスオーバーであり、電界放出電子銃の場合は仮想光源である。

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