自動欠陥レビューとは？わかりやすく解説

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自動欠陥レビュー　ADR: automatic defect review

欠陥レビューSEMの機能の一つ。半導体などの製造ラインで生じた欠陥を自動的に認識し SEM像取得を行うことができる。

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