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走査電子顕微鏡基本用語集

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走査透過電子顕微鏡　STEM: scanning transmission electron microscope

薄膜試料を透過した電子を検出して、走査像を得る装置。散乱吸収コントラスト、回折コントラスト、位相コントラストなどTEMで得られるコントラストは全て得られるが、位相コントラストを得るのは検出角の関係で難しい。

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