5軸ステージとは？ わかりやすく解説

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5軸ステージ　5-axis stage

水平移動（X、Y）、上下移動（Z）、傾斜（T）、回転（R）の五つの動作を行うことができる試料ステージ。ほとんどのSEMの試料ステージはこの構造を採用している。

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