複合照射法とは？わかりやすく解説

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複合照射法（IBAD:Ion BeamAssisted Deposition）

複合照射法（IBAD:Ion Beam Assisted Deposition）　YSZ等の材料を蒸着時に、基板に対してある特定の角度からAr等のイオンビームを同時に照射することにより、３次元的に配向した結晶膜が得られる。このようにして配向した膜を得る手法を複合照射法(IBAD法)という。

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