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「複合照射法」を解説文に含む見出し語の検索結果(1～3/3件中)

複合照射法 - 超電導用語

複合照射法（IBAD:Ion BeamAssisted Deposition） YSZ等の材料を蒸着時に、基板に対してある特定の角度からAr等のイオンビームを同時に照射することにより、３次元的に配向し...

IBAD - 超電導用語

Ion BeamAssisted Deposition - 超電導用語

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