プラズマクリーニングとは？ わかりやすく解説

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プラズマクリーニング　plasma cleaning

プラズマ中に試料を置き、プラズマの化学作用により、試料表面のカーボン系の汚れを分解・除去し、試料汚染を防止する方法。すでに付着した試料汚染の堆積物も除去することができる。高分子試料などカーボン系の試料の場合は、試料損傷を受ける可能性が高く、注意が必要である。

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