エバテック
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2025/06/03 20:44 UTC 版)
| 種類 | 株式会社 |
|---|---|
| 略称 | エバテック |
| 本社所在地 |  スイスCH-9477 Trübbach |
| 設立 | 2014年 |
| 業種 | 製造業 |
| 事業内容 | 半導体成膜装置製造販売 |
| 代表者 | Andreas Waelti (CEO) |
| 従業員数 | 280人 |
| 外部リンク | https://evatecnet.com/ |
エバテック（英: Evatec AG)は、スイスのTrübbachに本社を置く半導体製造装置メーカー。
概要
1946年にリヒテンシュタイン公国バルザースで設立されたBalzers社を源流とし、2015年にOC Oerlikon Holdingsの薄膜部門を継承する形で設立[1]。 同社を形容するキーワードとしてThin Film Powerhouseを掲げ、半導体前工程および後工程(アドバンストパッケージング)向けに、エッチング、蒸着、スパッタ、PECVD、PEALDをコアとした半導体成膜装置を製造および販売を行っている。
歴史
エバテック社は、2014年12月23日、スイスのテクノロジーグループ企業であるエリコン（OC Oerlikon Holding AG）のアドバンストテクノロジー部門を引き継ぐ形で設立された。この移管は予定より早く完了し、同部門の 200 人の従業員とすべての資産は 2015年2月3日にエバテック社へ移管された。 2019年3月にECL（Evatec Competency Laboratory）を開設し、バッチ式、クラスター式、インライン式の真空蒸着装置、スパッタリング装置、並びに先端技術の評価を可能とする測定器類を設置し研究開発、デモンストレーション、フィールドサポートを行っている。
製品
装置ポートフォリオとして、BAK（真空蒸着装置）、MPS（縦型スパッタリング装置）、LLS（LL式縦型スパッタリング装置）、CLUSTERLINE®（ウェハー向け枚葉スパッタリング装置）、CLUSTERLINE®RAD（自動搬送・精密プロセスモニター機能を盛り込んだウェハー向けバッチ式スパッタリング装置）、SOLARIS®（様々な基板に対応可能なインライン式スパッタリング装置）、HEXAGON（FOUP対応インライン式スパッタリング装置）、CLUSTERLINE®PNL（最大650mm角のアドバンストパッケージング向けパネルおよびインターポーザー用枚葉スパッタリング装置）を取り揃えている。
日本法人
日本には、日本エバテック株式会社がある。 エバテックの日本法人として2018年7月2日に設立され、本社を大阪に置き、日本の顧客向けの営業、サービス活動を行っている。
所在地：大阪府大阪市中央区北浜3-1-21
脚注
- ^ “Successful closing of sale process of Advanced Technologies Segment” (英語). OC Oerlikon Holdings (2015年2月3日). 2024年11月27日閲覧。
外部リンク
- エバテックのページへのリンク
