エピタキシャル‐せいちょう〔‐セイチヤウ〕【エピタキシャル成長】
読み方:えぴたきしゃるせいちょう
《epitaxial growth》基板となる結晶の上に、新しく結晶を成長させること。集積回路製作のために用いられる。エピタキシャル結晶成長。
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《epitaxial growth》基板となる結晶の上に、新しく結晶を成長させること。集積回路製作のために用いられる。エピタキシャル結晶成長。
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