スウェージロック
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2019/07/03 15:41 UTC 版)
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半導体製造装置や計測器などの科学機器用のガス機器などで、このSWagelok社の継ぎ手が使われる場合がある。
スウェージロック継ぎ手
スウェージロック社の継ぎ手は主に、「スウェージロック継ぎ手」と「VCR継ぎ手」、「VCO継ぎ手」である。
「スウェージロック継ぎ手」は、かしめ式である(フェルールが配管に食い込んでシールするタイプの継ぎ手)。 構造は、2種のフェルールによって配管をかしめる構造になっている。同社のスウェージロック継ぎ手用のナットとボディの間に、フロントフェルールとバックフェルールを組み込む。
取り付けには、溶接は不要である。 取り外しの再利用は可能だが、配管への食い込みが蓄積するので、なるべく取り外しはしない箇所に用いるのが好ましい。
締結の際のスパナの規格に関しては、スウェージロック継ぎ手、VCR継ぎ手、ともに原則として、製品本体はインチ規格である。 なので、スパナにはインチ規格のものを用いるのが好ましい。
継ぎ手に一般にいえることだが、他社製品との互換性は無い。 したがって、継ぎ手のボディ(オス側)とナット(メス側)は、同じ会社のものを用いる必要があり、他社製品との混用は許されない。 他社製品と混用した場合は保証外である。
参考文献
宇津木勝『半導体のための真空技術入門』工業調査会、2007年、初版1刷。ISBN 978-4-7693-1262-8。
外部リンク
- 1 スウェージロックとは
- 2 スウェージロックの概要
- スウェージロックのページへのリンク