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走査電子顕微鏡基本用語集

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収差補正　aberration correction

レンズの組み合わせにより、収差を補正し、理想的なレンズに近づけること。回転対称な磁界レンズでは凸レンズしか出来ないため単純なレンズの組み合わせでは収差補正を行うことができず、四極子レンズあるいは八極子レンズといった非回転対称な特殊レンズの組み合わせで行う。商品化されているものは数少ないが、球面収差および色収差の補正が行われている。

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