集束イオンビーム FIB: focused ion beam
集束イオンビーム
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2017/11/20 14:10 UTC 版)
集束イオンビーム(FIB,Focused Ion Beam)は、イオンを電界で加速したビームを細く絞ったものである。 集束イオンビームは、微細加工、蒸着、観察などの用途に用いられる。
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- 1 集束イオンビームとは
- 2 集束イオンビームの概要
集束イオンビーム
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2022/06/01 03:22 UTC 版)
「マスクレス リソグラフィ」の記事における「集束イオンビーム」の解説
詳細は「集束イオンビーム」を参照 集束イオンビームシステムはイオン注入用や他の形式では対応できない用途において現在一般的に使用される。
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集束イオンビーム
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/11/20 09:51 UTC 版)
詳細は「集束イオンビーム」を参照 収束したイオンビームによって直接パターンを作成する。柔軟性があるものの、生産性は低い。
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