研磨用語集

ワックスレスマウンティング

わっくすれすまうんてぃんぐ

研磨の際の工作物の固定法にワックスを使用せずにプレート面に固着する方法。真空吸着法もこれに該当する固定法である。シリコンウェハの片面研磨では、プレートに貼り付けた多孔性のパッド面にウェハを簡便に吸着し、ウエハの外周にリテーナリングを設置する方法が採られる。