研磨用語集

不織布タイプ研磨パッド

ふしょくふたいぷけんまぱっど

羊毛フェルトを始め、繊維を単に絡ませてシート状にした研磨布を指す。最近では、羊毛よりも耐熱性、耐磨耗性の優れるポリエステル繊維のフェルトにポリウレタンを適度に含浸させた多孔性の研磨布も現れ、シリコン基板の一次研磨用に使用して研磨速度と平面度で好結果を得ている。