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ウェハ

別名：ウェーハ，半導体ウェハ
【英】wafer, semiconductor wafer

ウェハとは、半導体材料を薄く円盤状に加工してできた薄い板のことである。半導体基板の材料として用いられている。

ウェハは、シリコンなどの半導体材料を結晶化させて生成した、直径数十cm、長さ1m程度の円柱状の塊（インゴット）を、1mm程度に薄くスライスして作られる。それから表面の研磨や端子形成などを行い、数mm角の小片に切断したものが、ペレット（チップ）となる。

ウェハの原材料となる半導体物質には、シリコンの他にもやゲルマニウムやガリウム砒素などがあるが、現在流通している半導体チップのほとんどはシリコンを原材料としている。シリコン製のウェハは特にシリコンウェハと呼ばれる。なお、インゴットやウェハの元となるシリコン結晶には非常に高い純度が求められており、99.99999999%（テン・ナイン）や99.999999999%（イレブン・ナイン）という超高純度の単結晶に精製されている。

ウェハの製造では、円の直径が大きければ大きいほど一度に多数のペレットを切り出すことができるため、できるだけ太いインゴットを生成するための技術向上が図られている。2007年現在、8インチ（200mm）から12インチ（300mm）へと主流であるサイズが移行しつつある。

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ウェハー

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2011/08/24 08:23 UTC 版)

(ウェハ から転送)

各種ウェハー

エッチング加工されたシリコン・ウェーハ。虹色に光っているのは構造色由来で、CDなどと同じ原理

ウェハー (wafer ウェイファ)は、半導体素子製造の材料である。高度に組成を管理した単結晶シリコンのような素材で作られた円柱状のインゴットを、薄くスライスした円盤状の板である。呼称は洋菓子のウェハースに由来する（英語表記ではいずれもwafer）。

ウェハーのほか、ウェーハ、ウエーハ、ウエハー、ウェハ、ウエハなどさまざまに呼ばれる。