マイクロコンタクトプリンティングとは? わかりやすく解説

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マイクロコンタクトプリンティング

出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2020/08/15 05:48 UTC 版)

マイクロコンタクトプリント(mCP)は次世代のプリンテッドエレクトロニクスの基幹技術として期待されるナノ構造構築法の一手法[1]




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マイクロコンタクトプリンティング

出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2022/08/10 03:36 UTC 版)

ソフトリソグラフィ」の記事における「マイクロコンタクトプリンティング」の解説

詳細は「マイクロコンタクトプリンティング」を参照 マイクロコンタクトプリンティング法は1993年ハーバード大学の A.Kumar、ジョージ・ホワイトサイズよって報告されナノ構造構築法フォトリソグラフィ電子線リソグラフィ製作した転写型の表面分子塗布して基板密着することで、パターン化した分子の膜を基板上に作製する従来リソグラフィ使用されていた大掛かりな縮小投影型露光装置 (ステッパー)を用いず転写型の使用微細なパターン安価簡便に複製する事が可能で分子基板表面との化学反応利用することにより、安定した自己組織化単分子膜(SAM)を基板上に転写できる利用される分子チオール分子と金表面S原子-Au)、シラン分子酸化物ヒドロキシル基OH-を持つ絶縁体表面Si原子-O-)の組み合わせ利用されている。

※この「マイクロコンタクトプリンティング」の解説は、「ソフトリソグラフィ」の解説の一部です。
「マイクロコンタクトプリンティング」を含む「ソフトリソグラフィ」の記事については、「ソフトリソグラフィ」の概要を参照ください。

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