フォトリソグラフィとは?

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フォトリソグラフィ

出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2016/11/05 14:57 UTC 版)

フォトリソグラフィ英語: photolithography)は、感光性の物質を塗布した物質の表面を、パターン状に露光(パターン露光、像様露光などとも言う)することで、露光された部分と露光されていない部分からなるパターンを生成する技術。主に、半導体素子、プリント基板印刷版、液晶ディスプレイパネル、プラズマディスプレイパネルなどの製造に用いられる。




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