ポリッシャー
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2022/06/17 00:09 UTC 版)
「ディスコ (切断装置製造)」の記事における「ポリッシャー」の解説
グラインディングにより発生する微細なウェーハ裏面の加工歪みを研磨することで除去し、ウェーハの抗折強度を向上させる装置。
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