ボックス加工とは？わかりやすく解説

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走査電子顕微鏡基本用語集

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ボックス加工　box milling

FIBで試料を加工するときの手法。観察用の断面を作るとき、十分な大きさを持った長方形の穴をFIBで掘るが、これをボックス加工と言う。目的は、観察用の電子プローブまたはイオンビームが断面に高角度で入射できるようにするためである。観察方向に沿った傾斜面を作るようにする場合、スロープ加工あるいはステップ加工という場合がある。
ボックス加工

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