研磨用語集 |
 
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しー・おー・ぴー
シリコン単結晶の洗浄工程のエッチングによりウェハ表面に生じる結晶起因の欠陥のうち、パーティクルカウンターによりパーティクルとして計数されるもの。パーティクルを意味する crystal-originated particle の略語であるが、実体は0.2～0.5μmの大きさのピットである。
シリコン単結晶の洗浄工程のエッチングによりウェハ表面に生じる結晶起因の欠陥のうち、パーティクルカウンターによりパーティクルとして計数されるもの。パーティクルを意味する crystal-originated particle の略語であるが、実体は0.2～0.5μmの大きさのピットである。
しー・おー・ぴーに関連した本
- 宅老所「よりあい」の挑戦―住みなれた街のもうひとつの家 (OP叢書) 賀戸 一郎 ミネルヴァ書房
- 定本 OPアンプ回路の設計―再現性を重視した設計の基礎から応用まで 岡村 廸夫 CQ出版
- OPアンプによるフィルタ回路の設計―OPアンプ大全〈第3巻〉 (アナログ・テクノロジシリーズ) アナログデバイセズ CQ出版
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