電子線描画装置を解説文に含む用語の検索結果

「電子線描画装置」を解説文に含む見出し語の検索結果(1～10/85件中)

反射電子検出器 - ウィキペディア小見出し辞書

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/11/20 08:32 UTC 版)「電子線描画装置」の記事における「反射電子検出器」の解説描画位置検出やマーク付きウェハー...

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/11/20 08:32 UTC 版)「電子線描画装置」の記事における「収差補正」の解説対物アパーチャーや静電式収差補正電極な...

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/11/20 08:32 UTC 版)「電子線描画装置」の記事における「電子レンズ」の解説静電偏向、電磁偏向により電子線を縮小...

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/11/20 08:32 UTC 版)「電子線描画装置」の記事における「高電圧発生部」の解説10KV～100KV程度の高電圧を...

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2017/12/22 02:13 UTC 版)「次世代リソグラフィ」の記事における「電子線描画装置」の解説詳細は「電子線描画装置」を参...

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/11/20 08:32 UTC 版)「電子線描画装置」の記事における「ビーム径測定機構」の解説電子線の大きさを測定する。電子...

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/11/20 08:32 UTC 版)「電子線描画装置」の記事における「偏向器（デフレクタ）」の解説電子線を一定の範囲で任意の...

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/11/20 08:32 UTC 版)「電子線描画装置」の記事における「温度制御機構」の解説水冷などにより、動作中に熱の発生す...

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/11/20 08:32 UTC 版)「電子線描画装置」の記事における「電子線源（電子銃）」の解説スポットビームは熱電子電界放...

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/11/20 08:32 UTC 版)「電子線描画装置」の記事における「電流検出器」の解説電子線の照射量はマスクの品質に大きく...

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