真空排気系を解説文に含む用語の検索結果

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「真空排気系」を解説文に含む見出し語の検索結果(1～10/19件中)

ピラニ真空計 - 走査電子顕微鏡用語

真空中で通電加熱された金属線からの放熱量が圧力によって変わり、電気抵抗が変わる現象を利用した真空計。測定可能圧力範囲は大気圧〜10-1Paで、SEMで真空排気系の制御に使われる。関連する用語真空排気系...

Pirani gauge - 走査電子顕微鏡用語

真空中で通電加熱された金属線からの放熱量が圧力によって変わり、電気抵抗が変わる現象を利用した真空計。測定可能圧力範囲は大気圧〜10-1Paで、SEMで真空排気系の制御に使われる。関連する用語真空排気系...

ピラニゲージ - 走査電子顕微鏡用語

真空中で通電加熱された金属線からの放熱量が圧力によって変わり、電気抵抗が変わる現象を利用した真空計。測定可能圧力範囲は大気圧〜10-1Paで、SEMで真空排気系の制御に使われる。関連する用語真空排気系...

ドライポンプシステム - 透過電子顕微鏡用語

【英】：dry-pumping system油や水を使用しない真空排気系のこと。スクロールポンプ、スパッタイオンポンプ、ターボ分子ポンプがある。関連する用語スクロールポンプスパッタイオンポンプターボ分...

dry-pumping system - 透過電子顕微鏡用語

【英】：dry-pumping system油や水を使用しない真空排気系のこと。スクロールポンプ、スパッタイオンポンプ、ターボ分子ポンプがある。関連する用語スクロールポンプスパッタイオンポンプターボ分...

走査電子顕微鏡 - 走査電子顕微鏡用語

細い電子プローブで試料表面を走査したとき、電子プローブの照射点から放出される種々の電子、電磁波を検出して画像化する装置。電子プローブを作り走査する電子光学系、信号を検出する検出器、試料を保持する試料ス...

scanning electron microscope - 走査電子顕微鏡用語

細い電子プローブで試料表面を走査したとき、電子プローブの照射点から放出される種々の電子、電磁波を検出して画像化する装置。電子プローブを作り走査する電子光学系、信号を検出する検出器、試料を保持する試料ス...

SEM - 走査電子顕微鏡用語

細い電子プローブで試料表面を走査したとき、電子プローブの照射点から放出される種々の電子、電磁波を検出して画像化する装置。電子プローブを作り走査する電子光学系、信号を検出する検出器、試料を保持する試料ス...

真空排気系 - 透過電子顕微鏡用語

【英】：(vacuum) evacuation system透過電子顕微鏡のは、電子銃室、鏡筒、試料室、カメラ室の被排気系と各種ポンプや弁、排気管で構成されている。標準的構成では、電子銃室、鏡筒は油回...

vacuum evacuation system - 透過電子顕微鏡用語

【英】：(vacuum) evacuation system透過電子顕微鏡のは、電子銃室、鏡筒、試料室、カメラ室の被排気系と各種ポンプや弁、排気管で構成されている。標準的構成では、電子銃室、鏡筒は油回...

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