電子チャンネリングパターンとは？わかりやすく解説

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走査電子顕微鏡基本用語集

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電子チャンネリングパターン　ECP: electron-channeling pattern

結晶性試料に対してビームロッキングを行ったとき観察される擬菊池パターンまたはその観察法。入射電子線の平行性が十分でなければならないため、電子線の太さは数µmとなる。さらに、入射角を変えるときに対物レンズの球面収差の影響で入射電子線が移動するので、パターンが得られる領域（ロッキング領域と言う）は、数十µmとなる。

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