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走査電子顕微鏡基本用語集
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劈開　cleavage,cleaving

断面観察をするときの試料作製法の一つ。結晶性試料が特定の結晶面に沿って割れる劈開性を持っているときに利用される。結晶性基板の上に作ったデバイスの断面を作る場合にしばしば使われる方法である。

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へき開

【英】：cleaving

固体を裂き、特定の結晶断面を露出させる手法。透過電子顕微鏡用の薄膜試料作製に用いられる。

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