ブロードイオンビームとは？わかりやすく解説

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走査電子顕微鏡基本用語集

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ブロードイオンビーム　BIB: broad ion beam

イオン銃から放出されたままの、レンズ系による集束作用を受けない直径数mmのイオンビーム。通常、ペニング形イオン銃を利用して作るが、イオンビームスパッタ装置、イオンミリング装置、クロスセクションポリシャなどの試料作製装置に使われている。集束イオンビーム（FIB）に対比する意味で使われる。

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