出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2018/12/08 01:48 UTC 版)
真空部品は日本真空工業会で以下の4種類に分類されている。 真空バルブ 電子銃、イオン銃、蒸発源、電源 流量計 その他部品(継手、フィードスルー、可動用部品など)
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