パーティクル対策

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パーティクル対策

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2019/07/26 07:56 UTC 版)

「フラックス洗浄」の記事における「パーティクル対策」の解説

半導体のクリーンルームに入る装置に使われる基板では、フラックス残渣がパーティクルの原因になるため除去されているケースがある。