テトラフルオロシランとは？ わかりやすく解説

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テトラフルオロシラン

分子式：F4Si
その他の名称：Silicon tetrafluoride、四ふっ化けい素、Tetrafluorosilane
体系名：テトラフルオロシラン、けい素テトラフルオリド

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