ULPA ULPAの概要

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ULPA

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2017/12/10 05:27 UTC 版)

日本工業規格 JIS Z 8122『コンタミネーションコントロール用語』 によって、「定格風量で粒径が0.15 µmの粒子に対して99.9995％以上の粒子捕集率をもち、かつ初期圧力損失が245 Pa以下の性能を持つエアフィルタ」と規定されている。

ULPAフィルタはHEPAフィルタの粒子捕集効率を上げるために濾材密度を高め、空気抵抗を減らすために厚みを薄くさせたものである。そのため、強度が弱いという欠点を持つ。