trimethylsilaneとは？わかりやすく解説

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トリメチルシラン

分子式：	C₃H₁₀Si
その他の名称：	Trimethylsilane
体系名：	トリメチルシラン

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トリメチルシラン

(trimethylsilane から転送)

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2013/10/25 22:40 UTC 版)

トリメチルシラン (trimethylsilane) またはトリメチルシリルヒドリド (trimethylsilyl hydride) は、化学式がC₃H₁₀Si、構造式が(CH₃)₃SiHで表される化合物である。引火性が非常に大きい。プラズマ相のエッチング液として半導体工業で用いられる^[1]。

^ Chen, Sheng-Wen; Wang, Yu-Sheng; Hu, Shao-Yu; Lee, Wen-Hsi; Chi, Chieh-Cheng; Wang, Ying-Lang (2012). “A Study of Trimethylsilane (3MS) and Tetramethylsilane (4MS) Based α-SiCN:H/α-SiCO:H Diffusion Barrier Films”. Materials 5 (3): 377. doi:10.3390/ma5030377.

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