プラズマCVDによるDLCの成膜
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2019/03/29 02:42 UTC 版)
「ダイヤモンドライクカーボン」の記事における「プラズマCVDによるDLCの成膜」の解説
CVD法の一種で原料としてアセチレンなどの炭化水素ガスを使い、チャンバー内で原料ガスをプラズマ化して、気相合成した炭化水素を試料表面に蒸着する。原料に水素が含まれるため、DLCにも必ず水素が含まれる。この製法はワークの温度が室温～200℃と低いこと、電極の配置により複雑形状でも均一に成膜しやすいこと、処理時間が比較的短いことなど工業的な利点が多く、現在もっとも一般的に利用されている。
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