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ピエゾ駆動装置

読み方：ピエゾくどうそうち
【英】PIEZO drive

ピエゾ駆動装置とは、制御技術で用いられる駆動装置の一種で、電圧がかかると伸縮する圧電素子であるピエゾ素子を用いた駆動装置のことである。ピエゾ素子にかかる電圧によって、微小な動きが求められる対物レンズの焦点面位置が制御されている。作動装置やセンサー、微細加工など、制御技術の分野では大変注目を集めている。

ちなみに、「ピエゾ」とはギリシャ語で「圧力を加える」という意味である。

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