コンビネーション収差
【英】:combination aberration
2つの薄い光学素子(レンズや多極子等)を、自由空間を介して配置したとき、それらの光学素子を単体で動作させた場合の収差以外に、それらの相乗効果によって生ずる(それぞれの光学素子の収差よりも高い次数で現れる)収差をコンビネーションアベレーションという。薄膜レンズの例ではないが、厚みを持った6極子による球面収差の補正は、3回場(2次の収差)と3回場(2次の収差)の相乗効果によってできる負の球面収差(3次)を利用しており、コンビネーションアベレーションの原理を用いている。3次の球面収差補正装置において、補正装置と対物レンズの間で自由空間が生じてしまう場合(完全転送が行われない場合)には5次の球面収差が現れる(このことを利用して5次の球面収差を撮ることが可能である。)
2つの薄い光学素子(レンズや多極子等)を、自由空間を介して配置したとき、それらの光学素子を単体で動作させた場合の収差以外に、それらの相乗効果によって生ずる(それぞれの光学素子の収差よりも高い次数で現れる)収差をコンビネーションアベレーションという。薄膜レンズの例ではないが、厚みを持った6極子による球面収差の補正は、3回場(2次の収差)と3回場(2次の収差)の相乗効果によってできる負の球面収差(3次)を利用しており、コンビネーションアベレーションの原理を用いている。3次の球面収差補正装置において、補正装置と対物レンズの間で自由空間が生じてしまう場合(完全転送が行われない場合)には5次の球面収差が現れる(このことを利用して5次の球面収差を撮ることが可能である。)
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