イオン源とは？ わかりやすく解説

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イオン源

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2023/07/26 18:02 UTC 版)

イオン源は、原子および分子イオンを作成する装置のことである[1]。質量分析計、発光分光計、粒子加速器、イオン注入機、イオンエンジンなどで、イオンを形成するために使用される。


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  84. ^ “Ion Beam Source Technology”. Advanced Energy. 2006年10月18日時点のオリジナルよりアーカイブ。2006年12月14日閲覧。

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