研磨用語集

XPS

えっくす・ぴー・えす

X線光電子分光法　X-ray photoelectron spectroscopy　の略語。高真空下における単色のX線照射により起きる光電効果に伴って放出される光電子の運動エネルギー分布を測定し、深さ数ｎｍ程度の極表面の構成元素、内殻準位の結合エネルギー、化学結合の状態など、表面に関する多くの情報を得る測定方法。