エアフィルタ 用途

エアフィルタ

出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2024/01/07 04:17 UTC 版)

用途

粗塵用フィルタ

主に50μm以上の粒子をターゲットとしたフィルタ。一般空調用ではプレフィルタとしてよく用いられる。 効率表示は重量法(JIS参照)で表現される。

中高性能フィルタ

主に25μm以上の粒子をターゲットとしたフィルタ。 効率表示は比色法(JIS参照)で表現される。

HEPAフィルタ

一般に病院や食品、医療分野のクリーンルームへ供給されるクリーンエアーのファイナルフィルタとして用いられる。対象粒子径は0.3μm以上をターゲットとしており、99.99%、99.97%、95%の凡そ3種類がある。 また、原子力発電所の空調でも使用されており、主な目的は、放射性核種の付着した塵の除去である。放射性核種自体はチャコールフィルターで除去されるため、空気清浄機でHEPAフィルターを内蔵したものでも放射線除去効果などはないが、放射性核種の付着した塵を除去する効果は期待できる。 効率表示は計数法(JIS参照)で表現される。

ULPAフィルタ

主にインダストリークリーンルームへ供給されるファイナルフィルタとして用いられる。現在はSMIF方式のクリーンルームが一般的である為、半導体の生産装置に附属されるケースが多く見受けられる。 効率表示は凡そ計数法(JIS参照)で表現される。

ガス除去フィルタ(化学吸着フィルタ)

美術館や博物館のコロージョンコントロール(美術品等の腐食制御)やインダストリークリーンルームにおいてはシリコンウェハーや液晶フィルムに対しての汚染制御に用いられる。 活性アルミナにガス除去成分を溶着した物が一般的であるが、現在は純水をエアワッシャ方式の空調機内で噴霧し、その名の如くエア(空気)を洗う方法で供給空気中のガス成分を除去するケースも多いが水溶性のガスしか除去できない。




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