対物レンズに入射する電子線の内、光軸近傍の電子線だけを通して、それ以外を遮蔽する目的で使用される絞り。孔径が小さい絞りを使うと球面収差や色収差が小さくなり、電子プローブ径は小さくなると同時に焦点深度も...

対物レンズに入射する電子線の内、光軸近傍の電子線だけを通して、それ以外を遮蔽する目的で使用される絞り。孔径が小さい絞りを使うと球面収差や色収差が小さくなり、電子プローブ径は小さくなると同時に焦点深度も...

対物レンズに入射する電子線の内、光軸近傍の電子線だけを通して、それ以外を遮蔽する目的で使用される絞り。孔径が小さい絞りを使うと球面収差や色収差が小さくなり、電子プローブ径は小さくなると同時に焦点深度も...

電子が持つエネルギーのばらつき。SEMの場合は、電子銃から放出される電子、あるいは電子プローブ内の電子に対して言うのが普通である。これは、電子プローブ径が、特に低加速電圧でエネルギー幅の影響を受けるか...

電子が持つエネルギーのばらつき。SEMの場合は、電子銃から放出される電子、あるいは電子プローブ内の電子に対して言うのが普通である。これは、電子プローブ径が、特に低加速電圧でエネルギー幅の影響を受けるか...

電子が持つエネルギーのばらつき。SEMの場合は、電子銃から放出される電子、あるいは電子プローブ内の電子に対して言うのが普通である。これは、電子プローブ径が、特に低加速電圧でエネルギー幅の影響を受けるか...

反射電子が試料から放出されるとき、表面付近で励起した二次電子。加速電圧が高い場合、反射電子は拡がりを持つので、発生領域は電子プローブ径に比べるとかなり大きくなると同時に試料内部の情報を持つ。SE2の放...

試料の直前に置かれた最終段の電子プローブ形成レンズ。このレンズの収差が電子プローブ径すなわち解像力を決めるので、非常に重要なレンズである。操作上では焦点合わせに使われる。目的に合わせてアウトレンズ形、...

試料の直前に置かれた最終段の電子プローブ形成レンズ。このレンズの収差が電子プローブ径すなわち解像力を決めるので、非常に重要なレンズである。操作上では焦点合わせに使われる。目的に合わせてアウトレンズ形、...

試料の直前に置かれた最終段の電子プローブ形成レンズ。このレンズの収差が電子プローブ径すなわち解像力を決めるので、非常に重要なレンズである。操作上では焦点合わせに使われる。目的に合わせてアウトレンズ形、...